SF6氣體定量檢漏儀其原理為：空氣中含有的六氟化硫氣體濃度變化時(shí)，該混合氣體在高頻電磁場的作用下其電離的程度也將不同，通過檢測電離度即可反映六氟化硫濃度。

儀器采用小型真空泵，探頭與主機(jī)為分體式。具有體積小、重量輕、攜帶方便、靈敏度高、穩(wěn)定性好、響應(yīng)速度快、探頭不會中毒、不產(chǎn)生有毒氣體等特點(diǎn)。并有液晶顯示氣體濃度，使儀器

讀數(shù)更為方便準(zhǔn)確。
SF6氣體定量檢漏儀新增了報(bào)警設(shè)定功能，當(dāng)被測氣體濃度大于或等于設(shè)定值時(shí)，即自行發(fā)出報(bào)警聲。
本設(shè)備于于電力、鐵道、電器制造、化工、消防器材以及原子物理科研等部門對充有六氟化硫設(shè)備、容器進(jìn)行檢漏，可以迅速、準(zhǔn)確地定性和定量檢測。
技術(shù)數(shù)據(jù)
測量范圍（SF6）： 0.01ppm～500ppm（體積比）  
響應(yīng)時(shí)間： 不大于3秒
指示方式： 液晶數(shù)字顯示和聲、光訊號報(bào)警 
報(bào)警設(shè)定范圍： 0.01ppm～500ppm（體積比）  
真空泵抽速： 0.5升/秒 
真空管道長度： 4米 
連續(xù)工作時(shí)間： 不大于4小時(shí)  
工作條件 ： 交流電源 220V 50Hz  
環(huán)境溫度 7℃-40℃  
相對濕度 不大于85%  
功率：約180W  
整機(jī)重量 ：約15Kg